ZEISS Sigma 500临高蔡司场发射临高扫描电镜的日常维护

　　蔡司临高扫描电镜是价格昂贵、精密复杂的大型仪器，因此,不但要求实验室管理员能够规范的操作仪器，更需要管理员能对其进行精细的日常维护[12-15],以确保机器处于正常的工作状态。以下介绍了ZEISS Sigma 500热场发射临高扫描电镜的日常维护情况。

　　1电镜室维护

　　做好日常清洁工作,保持电镜室整洁、无尘;利用空调和除湿机等外部手段调控室内温度和湿度环境,使室内温度处于20士5C之间,湿度保持在60%以下,以防临高扫描电镜各部件损坏。定时检查氮气瓶气量开关是否打开,保证出口压力指针处于0.3~0.4MPa之间。

　　2真空系统维护

　　临高扫描电子显微镜属于高真空系统的仪器。场发射临高扫描电镜需长期保持开机状态以确保电镜具有优良的真空值:电镜的系统真空( System vacu-um)-般要求在10~'mbar以上,电子枪真空(Gunvacuum)- .般要求在10-9 mbar以上。如果发生停电或维修等特殊情况,来电后应尽快开机，稳定后检查系统真空和电子枪真空是否在工作范围内。

　　若停电时间过长造成真空度下降过多，则需进行烘烤操作(- -般需要烘10h,晾4h)。

　　3配件维护

　　定时检查机械泵的油液面是否在安全线以上。若油液面在安全线以下或泵油颜色变深,则应立即添加或更换泵油;每半年更换一次密封圈，防止因密封圈老化影响抽真空的效果。

　　定期清洗样品台、送样杆以及离子溅射仪样品室等易受污染的部件，以防受到灰尘等杂质的污染而影响真空效果。清洗时可使用防静电无尘布蘸取酒精进行擦拭。

　　定期检查水冷机循环水,一般每学期换一次循环水。若发现水位低于警戒线,应立刻添加去离子水;若发现循环水混浊变质应立刻更换，防止因循环系统堵塞和结垢造成水循环系统工作效率降低。

　　更换时需先关机,清洗水箱后再加去离子水,并倒人半瓶抑菌剂,以防藻类和细菌生长。

　　4总结

　　综上所述,认真学习蔡司临高扫描电镜的组成部分和工作原理,规范上机操作步骤，合理选择不同种类样品的观察条件和试验方法,积累测试经验才能有效保证大型精密设备的良好运转。电镜管理人员应具有高度的责任心与工作热情,重视仪器的日常维护保养,掌握必要的故障检测与排除技能,定检查仪器运转情况及时更换消耗品,确保仪器在更佳状态下更好的服务于科研工作。